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林德启用全新制氮机 为积塔半导体供气

来源:林德气体 1364 2020-05-08

林德日前宣布,其为积塔半导体建造的一台制氮机在上海开机成功,林德与积塔半导体签订了一份为期20年的超高纯工业用气供应合约,目前开机运行的为计划建造的两台高纯制氮机中的第一台,第二台预计将于2022年上线启用。

该台制氮机位于上海临港产业区,其安装和运行工作由林德旗下合资企业联华林德(Linde LienHwa)负责。该制氮机将为积塔半导体造价高达51亿美元的晶圆制造厂供应各种超高纯度气体(如氮气、氧气、氩气、二氧化碳)以及压缩干空气(CDA)。

联华林德中国区总裁唐瑞平表示:“中国半导体行业的发展水平和产能将持续增长。我们在中国拥有分布密集的业务网络,有助于我们获得长期且可持续性的项目,进一步奠定在电子行业的领导地位。长久以来,联华林德在工业用气供应方面拥有安全可靠的良好记录,对此我们深感自豪,同时我们也倍感荣幸,有机会为积塔半导体的发展出自己的一份力。”

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