合肥露笑碳化硅工厂预计7月底完成设备安装调试，9月小批量试产

近日，露笑科技发布投资者关系活动记录表，其中透露了合肥碳化硅项目新动态。 2020年8月8日、2020年9月15日，露笑科技分别与合肥市长丰县人民政府、安徽长丰双凤经济开发区管理委员会签署《合肥市长丰县与露笑科技股份有限公司共同投资建设第三代功率半导体（碳化硅）产业园的战略合作框架协议》和《长丰县招商引资项目投资合作协议》。

 据悉，露笑科技将与合肥市长丰县人民政府在合肥市长丰县共同投资建设第三代功率半导体（碳化硅）产业园，包括但不限于碳化硅等第三代半导体的研发及产业化项目包括碳化硅晶体生长、衬底制作、外延生长等的研发生产，项目投资总规模预计100亿元。

 露笑科技表示，2021年6月25日，露笑科技与合肥北城、长丰四面体、合肥长丰产业投促创业投资基金合伙企业（有限合伙）（合肥产投作为主导）四方签订了增资协议。目前碳化硅衬底片已送样并检测通过，合肥露笑的生产设备已进入安装调试阶段。

 露笑科技还表示，合肥投资的碳化硅工厂已全面掌握6英寸导电型碳化硅晶体生长工艺参数之间的各种耦合关系，确定了各工艺参数的优值，中试线生长成品率达到40%，具备了可重复、可批量生长碳化硅晶体的设备以及技术条件。其中露笑科技提供100%国产化的晶体生长设备，目前已根据工艺的改进，对长晶炉进行了三代优化，完成了设备定型。

这次合肥项目一期100台设备已经完成出厂调试，预计7月底在合肥工厂完成安装调试。衬底片已通过多家第三方单位的测试，已达到了P 级标准。随着衬底加工设备、清洗设备、测试设备等的逐步到位，以及加工工艺的进一步优化，合肥工厂9月份可实现6英寸导电型碳化硅衬底片的小批量试生产。