近期,中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心研究团队结合化学深刻蚀和激光抛光,对精磨后的熔石英玻璃进行加工,获得具有超光滑表面和高激光损伤阈值的熔石英元件。
熔石英元件的紫外激光损伤是制约高功率激光系统发展的关键问题。熔石英玻璃的传统加工方法历经成型、研磨和机械化学抛光等工艺手段,该方法实现超光滑表面耗时长,且易引起元件表面和亚表面缺陷,导致元件的表面损伤阈值降低。
该研究中,科研人员通过结合兆声化学刻蚀和激光熔融抛光,对精磨熔石英玻璃进行后续加工。化学深刻蚀打开精磨后的亚表面缺陷,经过激光高精度抛光获得超光滑表面。与传统工艺加工的元件相比,采用该复合工艺加工的熔石英元件具有更高的紫外损伤阈值、耗时更短。该研究为高激光损伤阈值熔石英元件的加工提供新思路。
相关研究成果以Ground fused silica processed by combined chemical etching and CO2 laser polishing with super-smooth surface and high damage resistance为题,发表在Optics Letters上。研究工作得到国家自然基金、中科院青年创新促进会、上海扬帆计划的支持。
图1.(a)激光抛光光路示意图;(b)复合工艺过程中样品表面形貌变化
图2.不同工艺处理下的熔石英元件。(a)表面损伤概率;(b)污染元素深度分布
版权与免责声明:
(1) 凡本网注明"来源:颗粒在线"的所有作品,版权均属于颗粒在线,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已获本网授权的作品,应在授权范围内使用,并注明"来源:颗粒在线"。违反上述声明者,本网将追究相关法律责任。
(2)本网凡注明"来源:xxx(非颗粒在线)"的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,且不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网下载使用,必须保留本网注明的"稿件来源",并自负版权等法律责任。
(3)如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。