金属所装备关键零部件表面涂层技术取得新进展

中科院金属所材料表面工程研究部熊天英团队作为表面技术负责单位参加的国家重大专项“基于焊接和表面涂覆技术的大型铝件制造技术开发”近日顺利通过验收。项目主要针对超低污染及抗强腐蚀零部件的表面涂层技术需求，开展高性能纯Al或Al₂O₃、高致密Y₂O₃以及Y₂O₃/ZrO2涂层技术攻关研究。 

针对装备中最苛刻的等离子体辐射与强腐蚀性气体交互作用下腔体内零部件的腐蚀问题，崔新宇副研究员带领的热喷涂技术小组研发了高致密Y、Y₂O₃、Y/Y₂O₃、Y₂O₃/ZrO₂以及SiC复合防护涂层，突破了涂层与Al合金基体结合、热匹配性以及涂层致密性等关键技术难题，研制的表面高纯高致密Y₂O₃涂层通过用户考核验证和应用；研制的腔体内表面Y₂O₃/ZrO₂涂层通过用户考核验证和应用，实现工艺超低污染、抗强腐蚀的技术要求，在国内首次实现批量供货。 

针对镀膜设备用纯Al射频基片使用温度低、寿命短的问题，王吉强副研究员带领的冷喷涂技术小组提出在Ni合金基片表面冷喷涂纯Al涂层，解决了0.2mm超薄基片表面涂层厚度均匀控制和基片反复弯曲过程中涂层易脱落等多项技术难题。开发的新型基片使用温度由300℃提高到400℃，使用寿命由1-2个月提高到6个月以上，达到国际先进水平。目前批量供货5万余件。 

上述相关表面涂层技术的研发成功和应用，为制造装备、成套工艺和材料技术攻关提供了有力的技术支持和保障。