8英寸半导体级单晶硅片实现“山东造”

在国内半导体材料领域创造多个“第一”的“国家队”——有研半导体材料有限公司，在落户德州经济技术开发区建设生产基地后，日前又创造了山东省的“第一”：全省首根集成电路用8英寸直拉硅单晶拉制成功，该尺寸半导体级单晶硅片实现了“山东制造”。这是山东省集成电路产业的一项重要突破，也标志着这一在2019年省重点项目名单中位列第一的新旧动能转换重大项目取得重要进展，即将进入量产阶段。据介绍，拉制成的单晶硅棒经过处理后，再经过切片、倒角、研磨、测试、贴片、抛光、清洗、测试、封装等多道程序制成硅片，将成为集成电路产业链中重要的基础材料。

有研半导体材料有限公司是央企有研集团（原北京有色金属研究总院）旗下核心企业，分别于1992年、1995年、1997年、2002年制成国内第一根直径6英寸、8英寸、12英寸、18英寸直拉硅单晶，在国内率先实现了8英寸硅片的规模化生产。山东有研半导体材料有限公司集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目承接北京高新技术产业转移，一期项目总投资18亿元，该项目2018年6月在“央企助力山东新旧动能转换座谈会上”签订战略合作协议，2019年3月动工，建设包括年产276万片8英寸硅片、180万片6英寸硅片、300吨12英寸-18英寸大直径硅单晶生产线。二期12英寸集成电路用大硅片项目也在积极筹备，计划明年开工建设。（张海峰 贺莹莹 通讯员 赵庆川 报道）