记者11日从国家电投黄河水电公司(以下称“黄河公司”)获悉,该公司新增800吨电子级多晶硅产线首批产品10日出炉,标志着中国量产电子级多晶硅企业产能从2500吨/年扩增至3300吨/年,打破了国外垄断和中国集成电路基础原材料主要依赖进口的局面,对保障中国集成电路产业原材料战略安全具有里程碑意义。
多晶硅材料作为集成电路基础材料的最前端,生产技术和市场一直被国外垄断,成为中国发展集成电路产业的瓶颈。
黄河公司新能源分公司副总经理张永良介绍,本次技改项目糅合了多项如除硼吸附、渣浆回收等新型工艺和技术,在发挥原有2500吨/年多晶硅装置生产能力的前提下,通过新增棒还原炉,对原有尾气回收、还原、冷氢化、精馏、精整等6项装置进行工艺系统优化改进和技术改造,相继解决了还原电耗高、尾气回收装置处理能力有限等问题,将产能提升至3300吨/年,使国内市场占有率超过15%,真正实现了电子级多晶硅的“中国制造”。
“多晶硅生产洁净区域和工艺系统的施工安装洁净度直接影响着成品的质量,为此,我们对施工过程洁净质量进行了严格控制,实现了4台技改装置均一次开车成功,这在国内整个行业都实属罕见。”该技改项目组副主任危胜说。
张永良表示,项目一次性试车成功并顺利产出了产品,标志着公司已掌握了电子级多晶硅的生产工艺和质量管控的技术能力,下一步将会对出炉产品进行纯度检测,根据杂质含量持续优化设备和工艺参数,提升电子级产品的产出率。
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