德州8英寸半导体级单晶硅片通线量产 硅片生产迎来“山东造”

据齐鲁网·闪电新闻近日报道， 山东头号重点项目——“集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目”一期工程，经过18个月的紧张施工建设，10月16日正式实现通线量产，填补了山东没有硅片生产的空白。

16日，8英寸集成电路用硅片项目通线量产启动仪式在德州经济技术开发区举行，实现量产后，德州将成为我国北方最大的半导体材料生产基地。

中国工程院院士屠海令说：“硅材料，是我们发展集成性半导体的最重要的一个基础材料，通过跟德州的合作，将来对我们集成电路的发展一定有很好的促进和推动作用。”

硅片由高纯度单晶硅拉制而成，直径越大技术难度越大。8英寸硅片目前是芯片市场应用最广的产品，以前70%依靠进口。该项目量产后，可实现年产276万片，将极大弥补国内缺口。

山东有研半导体材料有限公司总经理张果虎介绍说：“我们这次把北京的全部专利技术团队全部带到山东来，比较短的时间实现了量产。一期按我们的建设目标，产值会在10亿左右。”

“集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目”从立项开始就被确定为山东省2019年头号重点项目，总投资达到80亿元。为了加速项目落地，德州推行“双线并行、模拟审批”机制，建设项目土地手续和项目规划、施工手续同步办理，实现“拿地即开工”。

德州市经济技术开发区行政审批部副部长李爱军说：“项目现在落地最大的堵点在于土地手续的办理，现在我们最大的改革节点，提前到土地征收批复这个节点。因为征收批复到土地出让这个时间大概有4到6个月的时间，所以我们充分利用这段时间进行了模拟审批。”

8英寸硅片生产工艺非常精密，缺陷尺度要控制在纳米级，对生产条件的要求极为苛刻，车间设计相对复杂。对此，在模拟审批的基础上，德州率先尝试桩基工程和主体工程分开审批。

德州市经济技术开发区行政审批部副部长李爱军说：“在实施桩基工程审批以后，项目就可以进场施工了。这期间再完成主体工程的审批。这样整体流程和环节就比较紧凑。”

整个审批环节，为项目节约落地时间4个多月，然而，项目建设关键期却遭遇疫情。为了减少疫情影响，德州为项目建设开通“快速通道”，保工人返岗复工和建设材料供应，做到了疫情期间不停工。与此同时，针对项目生产特殊要求，德州对水、电、气等基础设施配套进行了全要素保障。专门为企业建设了35千伏专用变电站，实行双回路供电。

德州经济技术开发区科技创新部部长赵兴说：“提前进行人员的培训，保障项目技术人员的支撑；在资金方面，市政府出台了集成电路产业的支持政策，我们与市区两级融资平台积极对接，调度资金，保障对有研的资金和补贴及时到位。”

从立项到投产，8英寸半导体级单晶硅片项目只用了18个月，整整比预期提前了半年。有了龙头企业带动，目前德州正规划建设270亩的半导体材料产业园区，推动半导体材料集群式发展，预计年底将有4家企业入驻。

德州市政府党组成员、 德州经济技术开发区党工委书记、管委会主任王震秀表示：“这样的话应该讲我们在最短的时间内，最有效的来解决我们整个产业链的延伸问题和产业集群的问题。我相信我们整个德州市不光是在半导体材料产业层次上有所提高，而且是在我们整个经济发展上会有一个快速的提升。”