总投资13亿元 上海博康光刻设备及光刻材料项目签约落...

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长春光机所等在利用飞秒激光微纳加工石墨烯材料方面获...

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积塔半导体特色工艺生产线主设备正式搬入临港新片区

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晶瑞股份拟15.2亿元投建晶瑞（湖北）微电子材料项目

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《Science》：一种高速纳米3D打印技术

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投资5亿元 京东方全资子公司拟建光刻胶生产线

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韩国三星成功研发5纳米半导体工艺 性能提高10%

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中国制造新突破 打破三维微纳光制造国外技术垄断

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