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预计明年12月底完成中试,安徽微芯长江半导体材料有限公司碳化硅项目开工

来源:集微网 995 2020-11-24

11月19日,安徽微芯长江半导体材料有限公司成立暨建设工程奠基仪式在安徽铜陵经开区举行。

图片来源:上海申和热磁电子有限公司

上海申和热磁电子有限公司消息显示,安徽微芯长江半导体材料有限公司SiC项目落户铜陵经济开发区以来,仅用50天就开始动工兴建。项目投资13.50亿元,占地100亩,新建厂房建筑使用面积3.2万平,包括碳化硅晶体生长车间、晶圆加工车间、研发中心、动力厂房、辅助用厂房等。

项目以4&6英寸工艺兼容的自动化产线为实施要点,建设工期4年,从2020年10月起至2024年10月止,计划2021年3季度完成厂房建设和设备安装调试,2021年12月底完成中试并开始试销,达成后预计年产4英寸碳化硅晶圆片3万片、6英寸12万片。

上海申和热磁电子有限公司是日本Ferrotec集团在上海的子公司。Ferrotec(中国)始创于1992年,拥有上海、杭州、银川、铜陵等多地布局。Ferrotec(中国)的产品重点集中在半导体产业的各相关领域,可向半导体产业提供半导体材料、半导体设备、半导体消耗品以及半导体零部件洗净服务等,特别是半导体硅抛光片、气相沉积碳化硅、硅部件、高纯石英制品、高纯陶瓷制品和半导体功率基板以及真空腔体等产品。

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